(1) заттарды тазалауды және алдын ала өңдеуді қоса алғанда, PVD алдындағы өңдеу.Арнайы тазалау әдістеріне жуғыш заттарды тазалау, химиялық еріткішпен тазалау, ультрадыбыстық тазалау және ионды бомбалаумен тазалау кіреді.(2) Оларды пешке салыңыз, соның ішінде вакуумдық камераны тазалау және арматура және орнату...
Ары қарай оқу