(1) заттарды тазалауды және алдын ала өңдеуді қоса алғанда, PVD алдындағы өңдеу.Арнайы тазалау әдістеріне жуғыш заттарды тазалау, химиялық еріткішпен тазалау, ультрадыбыстық тазалау және ионды бомбалаумен тазалау кіреді.
(2) Оларды пешке салыңыз, соның ішінде вакуумдық камераны тазалау және орнату, элементтер мен құрылғыларды орнату, іске қосу және қосу.
(3) Вакуумды сору, әдетте 6,6 Па немесе одан да көп сору, вакуумдық сорғыны ұстау және диффузиялық сорғыны қыздыру үшін диффузиялық сорғының алдыңғы жағын ертерек ашыңыз.Алдын ала қыздыру жеткілікті болғаннан кейін жоғары клапан ашылады және диффузиялық сорғымен 6 x 10-3 Па жарты төменгі вакуумға айдалады.
(4) Пісіру, заттарды қажетті температураға дейін пісіру.
(5) Иондық бомбалау, вакуум әдетте 10 Па-дан 10-1 Па-ға дейін, иондық бомбалау кернеуі 200 В-дан 1 КВ-қа дейінгі теріс жоғары кернеу, шабуыл уақыты 15 минуттан 30 минутқа дейін.
(6) Алдын ала балқыту, материалды алдын ала балқыту үшін токты реттеу, жабынды алдын ала балқыту үшін токты реттеу және 1мин ~ 2мин газсыздандыру.Булану шөгіндісі.Қажетті тұндыру уақыты аяқталғанша булану тогы қажетінше реттеледі.Салқындату, заттар вакуумдық камерада белгілі бір температураға дейін салқындатылады.
(7) Заттар шығарылғаннан кейін вакуумдық камера жабылады, вакуум l × l0-1Pa дейін эвакуацияланады және диффузиялық сорғы техникалық қызмет көрсету сорғы мен салқындатқыш суды өшірмес бұрын рұқсат етілген температураға дейін салқындатылады.